微機電/微流體

優勢

  • 非接觸測量透明材料中的微結構輪廓
  • 多層表面軟體能夠精確的測量各層厚度以及嵌入的寬度和深度


多層表面精密測量



多表面圖像分析,圖中顯示了蓋板層的厚度(93.4 μm)和槽深度(59.2 μm)。



封閉式結構測量

Zeta非接觸式光學輪廓儀的一個巨大特色就是能夠精確的測量透明蓋片下的三維結構。


多層表面圖像分析,圖中顯示了蓋板層的厚度(93.4 μm)和槽深度(59.2 μm)。


深溝測量

高深寬比深溝

利用Zeta專利的高效白光光源,可以很精確的測量微機電(MEMS)元件上高深寬比的深溝。

Zeta-20

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