高亮度LED

特點

  • AOI和PSS精密測量整合在同一平臺
  • 全自動單鍵式操作
  • 整合多個晶圓盒自動分類功能



PSS 測量

Zeta的PSS測量解決方案為用戶提供穩定性、重複性俱佳的測量,友好的用戶介面以及極佳的性價比,獲得了眾多PSS製造商的好評。

PSS類型和尺寸

錐形PSS

圓頂 PSS

平頂 PSS



PSS的類型和尺寸都在不斷改進

Zeta的PSS測量方案也在不斷提升、跟隨產業發展的步伐……


缺陷檢測(AOI)

  • 缺陷複檢

    高倍觀測被AOI檢測出來的缺陷

 
  • 三維輪廓

    缺陷的高解析度三維圖像

 
  • 資料分析

    詳細三維資料可用於分析缺陷的成因

 

缺陷類型範例

撕裂

沾汙

PSS圖案缺失

磊晶缺陷

汙跡


晶圓分選



根據PSS測量和缺陷檢測結果可以將LED藍寶石晶圓分類。 Zeta-360能夠測量PSS、檢測缺陷、管理統計資料、並且自動將晶圓送入到對應品質等級的晶圓盒中,省去了人為處理資料和分類晶圓等步驟,從而大大簡化了生產過程,改善了生產製程,提高了生產效率。