3D成像及測量

優勢

  • 五種光學測量技術集於同一平臺
  • 非接觸式三維表面輪廓測量和成像
  • 粗糙度測試:亞納米到毫米
  • 臺階高度測量:納米到毫米




成像

樣品的真實顏色和形狀?
獲取一幅測試樣品表面的真實彩色三維圖像往往是解決問題的第一步,它能對測試樣品表面有一個準確的預判。




尺寸

寬度與高度是多少?
對只有在顯微鏡下才能得到精確資料的零件,使用Zeta輪廓儀,只需做一次掃描即可得到橫向尺寸、臺階高度、斜面傾角等參數。




精密測量

表面狀況如何?
我們依據數以百萬計的資料點計算出來的二維和三維粗糙度參數,會比其他儀器只用一條線或一個狹小視場所獲得的資料來得精確。




薄膜厚度

表面上還有別的東西嗎?
單層或多層薄膜厚度可用Zeta的反射光譜儀來測量。用戶可以同時對表面形貌和表面上的薄膜進行研究。







宏觀原子力顯微鏡

樣品形貌和粗糙度超出AFM測量範圍?
上圖為Zeta生成的噴墨印表機零件的三維圖像。圖上顯示的尺寸已超出了原子力顯微鏡的測量能力範圍。




微觀三座標測量儀

待測特徵超過三座標測量儀的能力?
上圖為精密加工微波零件的三維圖像。圖上顯示的微波通道側牆的傾角等,是傳統的三座標測量儀所無法測量的。




獲取資料的時間

沒有足夠的時間來測量眾多參數?
Zeta輪廓儀可在一分鐘之內對待測樣品進行掃描,得到大視場區域的三維圖像,並提供形貌、尺寸和薄膜等相關資訊。




獲取資料的成本

為獲取資料的花費和回報率擔憂?
Zeta輪廓儀不僅初始投資成本低,而且維護成本更低。那些對成本敏感的應用,例如監測太陽能電池片蝕刻製程過程等,也選擇Zeta作為測量儀器。