晶圓搬運&分選系統

Open Cassette Handler & Sorter

晶圓搬運&分選系統

晶圓搬運&分選系統




配置

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Wafer Handler & Sorter

光束穿越式晶圓探測器

  • 每個晶圓盒都配備探測器
  • 客戶不需要每次都暫停機械手臂,只需要進行一次掃描即可
  • 光束穿越技術比傳統的反射式感測器有著更高的可靠性,特別是對於薄的、透明的晶圓



Wafer Handler & Sorter

穩固的晶圓盒夾具

  • 每個晶圓盒模組上的鎖/夾具可以固定晶片匣
  • 機械手臂運動時,客戶在裝卸晶圓時可能沒有準確把握好時間點從而產生碰撞,此時安全夾具可將此碰撞對晶圓造成的損壞降到最低
  • 可以通過軟體來操縱鎖具

高亮度LED

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