光學輪廓與AOI

Wafer Inspection & Metrology System Zeta-360

ZETA-360

全自動檢測和計量包HBLED基材如藍寶石裸露,外延和圖案的藍寶石晶圓進行了優化。

這種多盒非接觸式非接觸式光學輪廓儀從2英寸至150mm直徑處理晶片。




高通量檢驗

掃描一個完整的4英寸晶片的缺陷小至1微米的直徑在<1.5分鐘在AOI(自動光學檢測)模式。使用“回溯”功能和澤塔3D模式下快速查看缺陷。

準確PSS 度量衡學

測量錐,圓頂,平頂結構PSS準確幾秒鐘的事。依靠業界最佳的精度和可重複性。

生產做好準備

澤塔-360可以與多個盒裝載端口,盒式映射器,集成平取景器,快速處理程序,單或雙掃描頭,集成的聲學和振動隔離進行配置。生產準備的軟件包,掛鉤SPC整合完成這個令人印象深刻的生產準備包HBLED晶圓檢測。


檢測 > 導讀 > 措施 > 分類

縮短交貨時間過程反饋,節省了寶貴的時間。Zeta-360配備了自動缺陷檢查功能,節省了時間和簡化了缺陷分析。從Zeta-360的3D圖像和分析提供答案的大多數缺陷。這減少了需要由費時和昂貴的AFM或SEM分析進行審查缺陷的數量。


任務關鍵缺陷檢測

Zeta-360 能夠檢測出多種類型的裸藍寶石,PSS和外延片的缺陷。最小可檢測的缺陷的大小小於1微米:

  • 圖案丟失
  • 顆粒
  • 曝光線
  • 划痕
  • 污漬
  • 和更多...

全自動生產PSS監控解決方案

Zeta-360 Duo Option

二人選項

  • 雙掃描儀
  • 更高的吞吐量
  • 較低的COO
Zeta-360 Multi Cassette

多盒

  • 1或4盒配置
  • 選擇2,4,或6英寸晶片
  • 可配置為或縮小
  • 根據掃描結果排序
Zeta-360 Fast Handler

快速句柄

  • 精密滾珠絲槓及速度和長期可靠性直線軸承
  • 模塊化的可維護性
  • 緊湊型設計

其他產品特性

Zeta-360 Flat Finder

平取景器

  • 基於攝像機的取景器平
  • 東方晶圓平整無吞吐量成本
Zeta-360 Vibration Isolation

隔振

  • 綜合隔振
  • 地板及處理程序隔離
  • 更簡單的安裝相比,第三方隔振

Zeta-360 Cassette Mapper

紙盒映射

  • 每個盒專用傳感器
  • 檢測交叉開槽晶圓

缺陷檢測

缺陷掃描可以根據吞吐量和靈敏度的要求進行優化。生產的掃描可以跑得一樣快35秒的2英寸晶圓或<1.5分鐘4英寸晶圓輪。該Zeta3D軟件可以基於大小,強度和高寬比槽出來的缺陷。

PSS 度量衡學

預設食譜可以為錐形,圓頂或平頂結構進行優化。視場大意味著從幾百顛簸較大的統計數據集。與<30秒的掃描時間和20nm的重複性,Zeta-360與競爭對手的技術相比,提供了最快,最準確的信息反饋過程控制。


高亮度LED

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