ZETASCAN 系列

ZetaScan Series

ZETASCAN 系列

玻璃基板、晶圓上的粗糙薄膜、磁片襯底/介質缺陷檢測的最新技術。專為透明基板、薄襯底以及粗糙表面測量而設計。




全表面缺陷檢測方案

ZetaScan系列是全自動300mm晶圓缺陷檢測工具,適用於大多數樣品,如透明、半透明晶圓,觸控螢幕,拋光、未拋光底材等。基於Zeta革命性的創新多模式檢測技術,ZetaScan提供了高靈敏度以及高產能的缺陷檢測解決方案。


掃描光束及光學技術

  • 小尺寸斑點雷射光束(具有更高的靈敏度和解析度)結合快速光學線掃描技術實現高產能
  • 適用於尺寸不超過 370mm X 470mm 的任何形狀樣品,也可測量極薄的以及非常易碎的樣品, 如薄玻璃基板,接合晶圓等
  • 405 nm 雷射利用了光束整形和電學控制的最新技術

多模式光學檢測

  • ZSP – Zeta Specular 測量樣品表面反射信號
  • ZTP – Zeta Topography 測量表面形貌
  • ZTS – Zeta Top Scatter 測量樣品上方散射信號
  • ZSS – Zeta Side Scatter 測量樣品側面散射信號
  • Other … 請告訴我們您對缺陷檢測的需求或難題,Zeta研發團隊將不斷創新研發新技術

全自動缺陷分類

多模式光學技術可以輕易實現對缺陷進行分類。右圖為玻璃晶圓樣品的檢測結果,基於ZTP, ZSP和ZSS通道的不同圖像,表面缺陷和介面內缺陷能夠輕易被分開。同時,ZetaScan創新的光學設計也允許客戶基於不同模式的光學表徵圖像檢測和準確分類晶圓背面表面缺陷。這種技術在缺陷檢測行業是獨一無二的。


ZetaScan Series
全晶圓檢測

300 mm玻璃晶圓表面缺陷分佈圖

ZetaScan Series
多模式檢測

不同缺陷的光學表徵


ZetaScan Series

刮痕

刮痕可見於多個通道並且很容易分類

ZetaScan Series

玻璃表面沾汙

ZSP通道呈現的隨機分佈的表面沾汙

ZetaScan Series

嵌入式缺陷

ZTP通道呈現的嵌入式缺陷對成膜的影響

ZetaScan Series

薄膜缺失

非常強的反射信號幫助區分薄膜缺失與顆粒缺陷


快速生成全表面缺陷圖

入射光束線性移動結合晶圓橫向移動技術可以快速生成全表面缺陷分佈圖。這種掃描方式相對“螺旋形”掃描方式更快速,更穩定,而且對震動更加不敏感。

ZetaScan 特點 & 優勢

  • 薄的和透明基板-全新的光學檢測設計不會由於樣品變薄而信號減弱
  • 多模式光學檢測技術為區分亞微米級凹坑和凸起提供了必要的光學信號
  • 新的光學設計具有檢測粗糙表面或薄膜缺陷的能力

產品配置&特點

ZetaScan Series

手動或自動

  • ZetaScan: 手動上、下片
  • ZetaScan-AUTO: 配備開放式150/200mm晶圓盒上、下片機械手臂
  • ZetaScan-EFEM: 300 mm EFEM/FOUP自動上、下片系統

特點

  • 300 mm & 200 mm雙機械手臂
  • 可選配的Edge Grip上、下片方式
  • 手動系統可放置其他類型樣品
  • 整合隔振系統

Other Products

手動上載、下載樣品

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ZETA-300

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300 mm晶圓三維光學輪廓儀

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大尺寸樣品三維光學輪廓儀

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晶圓處理程序和分揀機

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EFEM模組

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