技術

多模式光學測量技術

集合5種光學測量技術於一身,強大的成像測量功能加上直觀、易用的操作介面,使Zeta 在光學測量領域獨樹一幟。


Zeta 3D非接觸式光學輪廓儀可對近乎所有材料和結構的樣品進行測量分析:從光滑面到粗糙面;從低反射面到高反射面;從透明襯底到不透明襯底;從單層結構到多層結構;從亞納米級到毫米級。Zeta技術的多功能性是其他任何計量工具無法比擬的。


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測量

ZDot™

Z-點陣專利技術。創新的光學設計結合強有力的軟體演算法,在60秒內完成任何材料表面的3D光學成像及分析,並提供詳細的測量資料統計結果。

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ZSI

白光差分干涉技術。搭配常規物鏡實現Z方向超高解析度的測量能力。

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ZX5 & ZX100

白光干涉技術。在保證Z方向高解析度測量的同時,提供大視野範圍內的資料分析和統計

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ZFT

反射光譜膜厚分析技術。集合CCD陣列式寬頻光譜分析儀,可測量薄膜材料的厚度、折射率和反射率。

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ZIC

干涉對比成像技術。實現亞納米粗糙度表面的高對比度成像,及量化分析。

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檢測

AOI

Zeta自動光學檢測與測量功能結合在一起,形成了一個高效、高性價比的功能強大的系統。

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ZetaScan

ZetaScan可以在短時間內完成對整個晶圓、磁片或玻璃表面顆粒、凹坑、凸起以及其他表面缺陷的檢測。

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軟體

ZMorf

ZMorf – 先進的分析軟體

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