高性能Zeta-20三维成像和测量系统的隆重推出标志着泽塔仪器正式进入三维成像和测量仪器市场。Zeta-20与众不同，是一种非常灵活的工具。它既能产生三维全真彩色图像，又能以70nm的纵向分辨率进行精密测量。它集轮廓仪和成像仪功能于一身，可以测量从亚微米到毫米数量级的形貌。

与其它只提供图像的仪器不同， Zeta-20 具有以下精密量测能力：

• 快速数据采集（约1分钟）
• 非接触、非破坏性测量
• 台阶高度/宽度
• 线和面粗糙度
• 表面图案间距和尺寸测量
• 表面形貌的大面积统计
• 手动拼接大面积三维图像