透明薄膜测量选项 - 所有泽塔系统可配备分光光度计用以测量薄膜样品表面的反射特性。如果各层薄膜的n和k值已知，泽塔软件可用迭代式求解算法将理论计算的和实际测得的反射谱之间进行最佳曲线拟合，从而确定各层薄膜的厚度。

泽塔系统可以测量多层膜结构。如果薄膜厚度已知，我们的软件可以反向计算材料的n值。

我们的薄膜厚度测量软件拥有200多种薄膜材料的光学参数。这些材料包括氮化硅、二氧化硅、氧化铝、氮化镓等等。

Nomarski/QDIC选项 - 对于低对比度或极其微小的形貌，泽塔系统可配备Nomarski选项，使系统分辨率达到纳米数量级。

此外，QDIC（定量微分干涉相衬成像）也可以对各类低对比度的透明样品表面进行成像，这类样品在其它系统上往往难以辨别。

对于那些预算有限，但将来可能需要QDIC功能的客户，我们可以提供“Nomarski-就绪型”系统。在生产过程中，我们会在该型号仪器内部安装QDIC所需要的基本硬件。如果将来的确有需要，客户只要向我们购买QDIC光学元件，然后自己安装在机器上即可。不必将仪器运回泽塔做升级。

多视场图像拼接选项 - 用高放大倍数镜头采集的三维图像往往视场较小。泽塔应用软件可以让用户把多张这样的小视场图像拼接起来，形成一张大面积的样品表面三维图像。

以100倍物镜、0.35倍耦合镜组合为例，我们的系统软件可以把用该组合采集的8×7（即56）张图进行拼接，合成一张视场为2008微米长、1323微米宽的图像。

载物台选择 - 不同的产业和研究领域有不同的样品种类和尺寸。

为了容纳这些样品以及它们的照明需求，Zeta-20基座面板上含有标准的1英寸间距，1/4-20螺纹的小孔阵列，供安装不同的载物台之用。