泽塔测量系统的独到之处在于它能集多种测量功能于一身。 我们的太阳能三合一应用软件包以太阳能电池业为服务对象，提供高价值的三项关键测量功能。

绒面分析 - 我们的光学轮廓测量功能可以用来对绒面做快速分析。 三维图像可以提供绒面的定性资料。 而绒面上的几何特征（如金字塔等）尺寸的直方图， 线和面粗糙度的计算值等可用来定量描述由酸或碱腐蚀所产生的绒面特征。

金属栅线轮廓测量 – 由于金属栅线上光的反射率与镀有防反膜的绒面上光的反射率之间存在着巨大的差异，要对绒面上的金属栅线进行成像比较困难。往往绒面区域的反射率小于0.5％，而金属区域的反射率可超过90％以上。

泽塔太阳能应用软件运用反光晕算法，弥补了不同区域表面亮度之间的巨大差异，从而可以清晰地对金属栅线进行三维成像，同时提供准确的台阶高度值和轮廓分布数据。

薄膜厚度测量 - 泽塔三合一系统包括一个分光光度计，可测量镀在绒面上的薄膜的厚度。这种测量如用传统的椭偏法就比较困难。

泽塔薄膜厚度测量选项不仅可以测量绒面上的薄膜，而且它跟绒面形貌和金属栅线轮廓测量功能有机地融合于同一台显微镜系统中，从而消除了用不同仪器实现不同测量功能的需求。
泽塔的薄膜厚度测量选项包括了200多种薄膜材料的n和k参数。这些材料包括氮化硅、二氧化硅、氧化铝、氮化镓等等。