泽塔的Z-点阵专利技术使得从事高亮度发光二极管、太阳能电池、生物科技及磁性存储介质等行业的研究和生产管理人员可以对亚微米表面形貌进行全真彩色三维成像和测量。运用Z-点阵,我们的系统软件能够迅速获取位于焦面上的样品形貌，从而实现对包括图案化蓝宝石基板、表面纹理、微流体通道以及机械加工缺陷等各种样品的高精度三维成像。

由于Z-点阵光学组件安装在高精度Z轴上，它能以几个纳米的精度上下移动。通过监控Z-点阵光学组件所产生的图像和其相应的Z轴位置，我们先进的图像处理软件可以在不到一分钟时间内提供台阶高度、粗糙度、尺寸大小与间距，以及面积与体积等数据。此外，源于白光照明的样品本色三维图像对样品作定性检查极有帮助。

运用Z-点阵技术设计的泽塔光学组件内不含任何移动部件。所以我们的仪器不像其它显微镜系统那样需要做定期光路调整等维护工作。其结果是我们的仪器不仅制造成本低，而且售后维护费用几乎为零。